龙图腾网&IPTOP
- 微信扫码登录
- 账号密码登录
- 短信登录/注册
申请/专利权人：无锡展硕科技有限公司
申请日：2023-11-01
公开（公告）日：2024-06-21
公开（公告）号：CN221201100U
主分类号：H01L21/67
分类号：H01L21/67
优先权：
专利状态码：有效-授权
法律状态：2024.06.21#授权
摘要：本实用新型涉及晶圆卡盘暂存冷却用水冷装置技术领域，且公开了一种晶圆卡盘暂存冷却用水冷装置，包括支撑座，支撑座的顶部设置有放置机构，放置机构的背部设置有水冷冷却机构，所述放置机构设置有放置组件与卡接组件，放置组件设置在卡接组件的内部。推动放置板，使卡接板推动滑动板在固定台内部滑动，使弹簧带动滑动板使放置板弹出，将晶圆卡盘放入进行放置，由于设置了放置箱、放置板，有利于对晶圆卡盘进行存放，该晶圆卡盘暂存冷却用水冷装置，通过水冷冷却机构配合放置机构使用，通过循环水冷泵带动冷却液在循环管内部循环流动，使循环管对放置箱内部放置的晶圆卡盘进行冷却，通过设置了风扇有利于充分对放置箱内部的晶圆卡盘进行冷却。
主权项：1.一种晶圆卡盘暂存冷却用水冷装置，包括支撑座1，其特征在于：所述支撑座1的顶部设置有放置机构2，所述放置机构2的背部设置有水冷冷却机构3；所述放置机构2设置有放置组件21与卡接组件22，所述放置组件21设置在卡接组件22的内部。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 无锡展硕科技有限公司 一种晶圆卡盘暂存冷却用水冷装置
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
主营中国专利交易买卖与专利转让许可,高校科技成果推广与科技成果转化,知识产权运营管理与平台开发,科技人才专家库与科技猎头等科技服务
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号