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申请/专利权人：福州艾斯佩克检测设备有限公司
申请日：2023-10-17
公开（公告）日：2024-06-21
公开（公告）号：CN221197809U
主分类号：F26B5/04
分类号：F26B5/04;F26B9/06;F26B25/00;F26B25/12;F26B25/18;F26B21/00;F25B21/02
优先权：
专利状态码：有效-授权
法律状态：2024.06.21#授权
摘要：本实用新型公开了一种半导体超净真空烘箱，包括箱体、箱盖、放置板、侧向冷风组件与顶部散热组件，其中箱体后侧设置有真空泵接口、充气口，箱体内侧具有开口朝向箱盖的烘腔；所述箱盖上设有窗口，箱盖铰装于箱体前侧，箱盖端面四周设有密封组件，箱盖可在转动时通过密封组件将箱体密封；所述箱体腔内四周的侧壁处嵌装有调节条，调节条上设有若干插槽，放置板至少设有两层且其呈上下平行置放于箱体腔内，放置板外侧端通过插块固定在调节条上；所述侧向冷风组件分布于箱体两侧，侧向冷风组件包括进风机、制冷柱与散热翅片，其中制冷柱呈空心管状。本实用新型采用直冷风吹+热风抽除的方式实现真空烘箱的温度的快速下降，方便烘箱内产品取出。
主权项：1.一种半导体超净真空烘箱，其特征在于，包括箱体（1）、箱盖（2）、放置板（3）、侧向冷风组件与顶部散热组件，其中箱体（1）后侧设置有真空泵接口、充气口，箱体（1）内侧具有开口朝向箱盖（2）的烘腔；所述箱盖（2）上设有窗口，箱盖（2）铰装于箱体（1）前侧，箱盖（2）端面四周设有密封组件（4），箱盖（2）可在转动时通过密封组件（4）将箱体（1）密封；所述箱体（1）腔内四周的侧壁处嵌装有调节条（5），调节条（5）上设有若干插槽，放置板（3）至少设有两层且其呈上下平行置放于箱体（1）腔内，放置板（3）外侧端通过插块固定在调节条（5）上；所述侧向冷风组件分布于箱体（1）两侧，侧向冷风组件包括进风机（6）、制冷柱与散热翅片（7），其中制冷柱呈空心管状，制冷柱后端通过密封阀接通箱体（1）的烘腔。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 福州艾斯佩克检测设备有限公司 一种半导体超净真空烘箱
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