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申请/专利权人：上海显耀显示科技有限公司
申请日：2024-03-14
公开（公告）日：2024-06-25
公开（公告）号：CN118248592A
主分类号：H01L21/67
分类号：H01L21/67;B26D1/06;B26D5/02;B26D7/00;B26D7/26;H01L21/683
优先权：
专利状态码：在审-公开
法律状态：2024.06.25#公开
摘要：一种晶圆撕金机，包括：支撑平台；载台，所述载台固定于所述支撑平台表面，所述载台表面包括至少一个晶圆固定区，所述晶圆固定区用于固定晶圆；压膜机构，所述压膜机构包括平行于第一方向设置的辊轴，所述辊轴可绕轴向自转，并沿第二方向做往复运动，所述第一方向和所述第二方向均平行于所述载台表面，且所述第一方向和所述第二方向具有预设夹角，所述辊轴用于滚压铺设于所述晶圆表面的粘性膜，使所述粘性膜粘附在所述晶圆表面，利用提高撕金的质量。
主权项：1.一种晶圆撕金机，其特征在于，包括：支撑平台；载台，所述载台固定于所述支撑平台表面，所述载台表面包括至少一个晶圆固定区，所述晶圆固定区用于固定晶圆；压膜机构，所述压膜机构包括平行于第一方向设置的辊轴，所述辊轴可绕轴向自转，并沿第二方向做往复运动，所述第一方向和所述第二方向均平行于所述载台表面，且所述第一方向和所述第二方向具有预设夹角，所述辊轴用于滚压铺设于所述晶圆表面的粘性膜，使所述粘性膜粘附在所述晶圆表面。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 上海显耀显示科技有限公司 晶圆撕金机
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