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申请/专利权人：北京北方华创微电子装备有限公司
申请日：2024-03-07
公开（公告）日：2024-06-25
公开（公告）号：CN118248590A
主分类号：H01L21/67
分类号：H01L21/67;C23C16/455;C23C16/52;C23C16/44
优先权：
专利状态码：在审-公开
法律状态：2024.06.25#公开
摘要：本申请公开一种进气组件、半导体工艺腔室及半导体工艺方法，属于半导体技术领域。进气组件包括相连的进气窗和切换阀板，切换阀板与进气窗相对，进气窗设有第一气体进气口和第二气体进气口，切换阀板可相对于进气窗在第一位置和第二位置之间运动，且切换阀板设有气路，气路与进气组件的出气端连通；在切换阀板位于第一位置的情况下，第一气体进气口与气路连通且第二气体进气口与气路断开；在切换阀板位于第二位置的情况下，第二气体进气口与气路连通且第一气体进气口与气路断开。如此，通过调节切换阀板的位置，可直接在进气窗的位置截断上一工艺的气体，避免上一工艺的残留气体参与下一工艺过程，有利于提升工艺效果。
主权项：1.一种进气组件，其特征在于，包括相连的进气窗210和切换阀板220，所述切换阀板220与所述进气窗210相对，所述进气窗210设有第一气体进气口211和第二气体进气口212，所述切换阀板220可相对于所述进气窗210在第一位置和第二位置之间运动，且所述切换阀板220设有气路，所述气路与所述进气组件200的出气端连通；在所述切换阀板220位于所述第一位置的情况下，所述第一气体进气口211与所述气路连通且所述第二气体进气口212与所述气路断开；在所述切换阀板220位于所述第二位置的情况下，所述第二气体进气口212与所述气路连通且所述第一气体进气口211与所述气路断开。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 北京北方华创微电子装备有限公司 进气组件、半导体工艺腔室及半导体工艺方法
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