申请/专利权人：清华大学深圳国际研究生院

申请日：2024-04-01

公开（公告）日：2024-06-25

公开（公告）号：CN118242972A

主分类号：G01B9/02015

分类号：G01B9/02015;G01B9/02;G01B9/02055;G01B11/02

优先权：

专利状态码：在审-公开

法律状态：2024.06.25#公开

摘要：本发明公开了一种基于双光栅的空间分离式光栅干涉仪，其特征在于，包括双频光源、第一至第二激光头、第一至第二偏振分光棱镜、第一直角棱镜组、第二直角棱镜组、第一至第二四分之一波片、二分之一波片、偏振片、二维反射式的测量光栅及参考光栅、光纤以第一至第五探测器，所述第一至第二激光头分别输出具有频差的激光，垂直于光栅面型的方向为Z向，光栅面内为正交的X、Y方向。通过解算5路外差干涉信号相位差实现光栅位姿三自由度同步测量。采用中心对称式光路，使双频激光传播达到近似共光路传播的效果，极大地减小了激光死区长度，理论上X向光路、Y向光路和Z向光路的死区长度可为0，具备优秀的抗环境干扰能力。

主权项：1.一种基于双光栅的空间分离式光栅干涉仪，其特征在于，包括双频光源、第一至第二激光头、第一至第二偏振分光棱镜、第一直角棱镜组、第二直角棱镜组、第一至第二四分之一波片、二分之一波片、偏振片、二维反射式的测量光栅及参考光栅、光纤以第一至第五探测器，所述第一至第二激光头分别输出具有频差的激光，垂直于光栅面型的方向为Z向，光栅面内为正交的X、Y方向；所述第一激光头出射频率为f1的p偏振光作为测量光，p偏振光通过所述第一偏振分光棱镜和所述第一四分之一波片并垂直入射所述测量光栅，所述第一四分之一波片将p偏振光转为圆偏振光，圆偏振光入射所述测量光栅后形成0级衍射光、X向正一级衍射光、X向负一级衍射光、Y向正一级衍射光、Y向负一级衍射光，其中0级衍射光直接反射，而后四束衍射光由所述第一直角棱镜组反射，沿Z轴传播，再次通过所述第一四分之一波片转为s偏振光后入射所述第一偏振分光棱镜，并在其偏振分离面上反射，沿X轴正方向传播，随后通过所述二分之一波片转为p偏振光，并透射穿过所述第二偏振分光棱镜，经过所述偏振片后，入射对应的探测器；所述第二激光头出射频率为f2的p偏振光作为参考光，p偏振光通过所述第二偏振分光棱镜和所述第二四分之一波片并垂直入射所述参考光栅，所述第二四分之一波片将p偏振光转为圆偏振光，圆偏振光入射所述测量光栅后形成0级衍射光、X向正一级衍射光、X向负一级衍射光、Y向正一级衍射光、Y向负一级衍射光，其中0级衍射光直接反射，而后四束衍射光由所述第二直角棱镜组反射，沿Z轴传播，再次通过所述第二四分之一波片转为s偏振光后入射所述第二偏振分光棱镜，并在其偏振分离面上反射，沿X轴正方向传播，与所述第一激光头出射的频率为f1的测量光平行且重合，共同入射对应的探测器。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 清华大学深圳国际研究生院 一种基于双光栅的空间分离式光栅干涉仪及位移测量方法

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