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申请/专利权人：浙江洁芯微电子设备有限公司
申请日：2024-02-27
公开（公告）日：2024-06-25
公开（公告）号：CN118236876A
主分类号：B01F23/40
分类号：B01F23/40;B01F35/221;B01F35/83;B01F35/88
优先权：
专利状态码：在审-公开
法律状态：2024.06.25#公开
摘要：本发明属于半导体制程工艺技术领域，具体涉及一种混酸系统及其方法，包括闭环反馈控制瞬时流量系统、加液阀、排液阀和混酸桶；所述闭环反馈控制瞬时流量系统根据设定比例自动计算每路药液所需流量，开启排废阀同时闭环反馈调节各支路流量，当各路累计流量达到系统自动计算流量后，即可立即触发切换到加液阀对混酸桶加液，当混酸桶液位达到设定值即可立即触发或提前触发关阀动作，完成混酸。本发明混酸速度迅速、精度高。
主权项：1.一种混酸系统，其特征在于：包括闭环反馈控制瞬时流量系统、加液阀、排液阀和混酸桶；所述闭环反馈控制瞬时流量系统根据设定比例自动计算每路药液所需流量，开启排废阀同时闭环反馈调节各支路流量，当各路累计流量达到系统自动计算流量后，即可立即触发切换到加液阀对混酸桶加液，当混酸桶液位达到设定值即可立即触发或提前触发关阀动作，完成混酸。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 浙江洁芯微电子设备有限公司 混酸系统及其方法
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皖公网安备 34010402703815号