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申请/专利权人：上海汉虹精密机械有限公司
申请日：2024-03-19
公开（公告）日：2024-06-25
公开（公告）号：CN118241300A
主分类号：C30B15/00
分类号：C30B15/00
优先权：
专利状态码：在审-公开
法律状态：2024.06.25#公开
摘要：本发明涉及半导体技术领域。一种称重式籽晶提拉机构，包括一壳体，壳体内安装有可转动设置的绕线轮，绕线轮上缠绕有籽晶绳，籽晶绳依次途径导向轮、第一压绳轮、第二压绳轮以及位于壳体外的绳套；导向轮上开设有面接触籽晶绳的轮槽，轮槽的端面呈U形；导向轮可转动的安装在支架上，支架通过支架螺栓与称重仪的下端相连，称重仪的上端螺纹连接有穿过壳体的连接螺栓，连接螺栓的头部与壳体之间夹设有垫圈；导向轮通过深沟球轴承与固定轴转动连接；固定轴的两端套设有从内至外设置的绝缘环以及绝缘压板，绝缘环的轴向内侧与深沟球轴承相抵，绝缘环的轴向外侧与绝缘压板相抵，绝缘压板与支架可拆卸连接；绕线轮通过传动组件与花键轴传动连接。通过优化导向轮的安装结构，导向轮是垂直安装，提高了称重精度的问题。
主权项：1.一种称重式籽晶提拉机构，包括一壳体，所述壳体内安装有可转动设置的绕线轮，所述绕线轮上缠绕有籽晶绳，其特征在于，所述籽晶绳依次途径导向轮、第一压绳轮、第二压绳轮以及位于壳体外的绳套；所述导向轮上开设有面接触所述籽晶绳的轮槽，所述轮槽的端面呈U形；所述导向轮可转动的安装在支架上，所述支架通过支架螺栓与称重仪的下端相连，所述称重仪的上端螺纹连接有穿过所述壳体的连接螺栓，所述连接螺栓的头部与所述壳体之间夹设有垫圈；所述导向轮通过深沟球轴承与固定轴转动连接；所述固定轴的两端套设有从内至外设置的绝缘环以及绝缘压板，所述绝缘环的轴向内侧与所述深沟球轴承相抵，所述绝缘环的轴向外侧与所述绝缘压板相抵，所述绝缘压板与所述支架可拆卸连接；所述绕线轮通过传动组件与花键轴传动连接；所述传动组件包括与所述花键轴沿着轴向滑动连接的花键螺母，所述花键螺母通过绝缘材料制成的固定圈以及绝缘圈夹持固定，所述固定圈与所述中间法兰夹持所述绝缘圈的径向外围，所述花键轴与连接法兰螺纹连接，所述连接法兰与所述固定圈夹紧所述中间法兰；所述绝缘圈与固定在所述壳体内的丝杆螺母螺纹连接。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 上海汉虹精密机械有限公司 一种称重式籽晶提拉机构
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