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申请/专利权人：中国科学技术大学
申请日：2024-02-21
公开（公告）日：2024-06-25
公开（公告）号：CN118244005A
主分类号：G01R27/02
分类号：G01R27/02;C23C14/04;C23C14/18;G01R1/02;G01R1/04
优先权：
专利状态码：在审-公开
法律状态：2024.06.25#公开
摘要：本公开提出了一种金刚石对顶砧装置及其制作方法。金刚石对顶砧装置，包括：金刚石对顶砧，具有砧面和均匀设置在砧面周侧的多个上侧面；多个电极层，由上侧面向砧面弯折延伸；以及多个绝缘层，由上侧面向砧面弯折延伸，每个绝缘层部分覆盖一个电极层，砧面上未被绝缘层覆盖的部分形成探测窗口。
主权项：1.一种金刚石对顶砧装置，其特征在于，包括：金刚石对顶砧，具有砧面和均匀设置在所述砧面周侧的多个上侧面；多个电极层，由所述上侧面向所述砧面弯折延伸；以及多个绝缘层，由所述上侧面向所述砧面弯折延伸，每个所述绝缘层部分覆盖一个所述电极层，所述砧面上未被所述绝缘层覆盖的部分形成探测窗口。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 中国科学技术大学 金刚石对顶砧装置及其制作方法
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