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申请/专利权人：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
申请日：2024-02-27
公开（公告）日：2024-06-25
公开（公告）号：CN118243078A
主分类号：G01C19/64
分类号：G01C19/64
优先权：
专利状态码：在审-公开
法律状态：2024.06.25#公开
摘要：本发明涉及一种面向光传感的异质集成光学陀螺仪芯片，包括异质集成的第一光子芯片和第二光子芯片；所述第一光子芯片包括依次连接的耦合光口、第一光波导、第二光波导、合束器、分束器和光电探测器；所述第二光子芯片包括依次连接的第三光波导和铌酸锂相位调制器；所述第一光波导和第二光波导形成第一倏逝波耦合器；所述第二光波导和第三光波导形成第二倏逝波耦合器。本发明通过设置上下层芯片并通过键合去除衬底得到具有多功能结构的异质集成收发一体光学陀螺仪芯片，可以兼顾低传输损耗和小型化，具有广阔的应用场景。
主权项：1.一种面向光传感的异质集成光学陀螺仪芯片，其特征在于：包括异质集成的第一光子芯片和第二光子芯片；所述第一光子芯片包括依次连接的耦合光口、第一光波导、第二光波导、合束器、分束器和光电探测器；所述第二光子芯片包括依次连接的第三光波导和铌酸锂相位调制器；所述第一光波导和第二光波导形成第一倏逝波耦合器；所述第二光波导和第三光波导形成第二倏逝波耦合器。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 一种面向光传感的异质集成光学陀螺仪芯片
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