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申请/专利权人：朗姆研究公司
申请日：2017-10-19
公开（公告）日：2024-06-25
公开（公告）号：CN118248613A
主分类号：H01L21/683
分类号：H01L21/683;H01L21/67;H01J37/32
优先权：["20161103 US 15/343,010"]
专利状态码：在审-公开
法律状态：2024.06.25#公开
摘要：提供了一种用于在等离子体处理室中利用静电环夹持件静电夹持边缘环的方法，该静电环夹持件具有用于向边缘环提供气流的至少一个环背面温度通道。向至少一个环背面温度通道提供真空。测量环背面温度通道中的压强。当背面温度通道中的压强达到阈值最大压强时，提供静电环夹持电压。中断环背面温度通道的真空。测量环背面温度通道中的压强。如果环背面温度通道中的压强上升快于阈值速率，则表明密封失效。如果环背面温度通道中的压强上升没有比阈值速率快，则继续等离子体处理，使用环背面温度通道来调节边缘环的温度。
主权项：1.一种用于在等离子体处理室中利用静电环夹持件静电夹持边缘环的方法，所述静电环夹持件具有用于向所述边缘环提供气流以调节温度的至少一个环背面温度通道；所述方法包括：向所述至少一个环背面温度通道提供真空；测量所述至少一个环背面温度通道中的压强；当所述至少一个环背面温度通道中的所述压强达到阈值最大压强时，提供静电环夹持电压；中断所述至少一个环背面温度通道的所述真空；测量所述至少一个环背面温度通道中的压强；如果所述至少一个环背面温度通道中的压强上升快于阈值速率，则表明密封失效；并且如果所述至少一个环背面温度通道中的压强上升没有比所述阈值速率快，则提供等离子体处理，使用所述至少一个环背面温度通道来调节所述边缘环的温度。
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