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申请/专利权人：无锡星微科技有限公司杭州分公司;无锡星微科技有限公司
申请日：2024-05-29
公开（公告）日：2024-06-25
公开（公告）号：CN118248610A
主分类号：H01L21/677
分类号：H01L21/677;H01L21/687
优先权：
专利状态码：在审-公开
法律状态：2024.06.25#公开
摘要：本发明涉及传输系统技术领域，具体涉及一种带片叉库的传输系统。该传输系统包括机械手，该机械手一侧设置有至少两个片库，所述机械手的另一侧设置有预对准装置，机械手能够将片库当中的晶片取出并进一步输送至预对准装置上进行检测对准，完成检测对准的晶片再通过机械手将其输送至另一处片库的入口处，入口内的定位板发生位移，同时机械手将晶片穿过入口放置在定位板上，定位板再发生位移将晶片进行存储。
主权项：1.带片叉库的传输系统，其特征在于，该传输系统包括机械手（1），该机械手（1）一侧设置有至少两个片库（2），所述机械手（1）的另一侧设置有预对准装置（3），所述机械手（1）被配置为能够从所述片库（2）中取出晶片输送至所述预对准装置（3）处，所述机械手（1）还能够将检测完的晶片输送至另一处片库（2）中。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 无锡星微科技有限公司杭州分公司;无锡星微科技有限公司 带片叉库的传输系统
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