申请/专利权人：常州容导精密装备有限公司

申请日：2024-04-02

公开（公告）日：2024-06-25

公开（公告）号：CN117966127B

主分类号：C23C16/448

分类号：C23C16/448;C23C16/52

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.06.25#授权;2024.05.21#实质审查的生效;2024.05.03#公开

摘要：本发明提供了一种前驱体源瓶的导热结构及控制方法，该前驱体源瓶的导热结构包括：带有腔体的壳体、设置于腔体内的导热流道隔板等。并且，导热流道隔板在腔体内呈折弯设置，并将腔体分隔成若干个导热空间。其中，导热空间用于放置固态前驱体源，并使得固态前驱体源在受热形成固态前驱体源蒸汽后，向上流动。与现有技术相比，本发明可以较好地实现固态前驱体受热均匀，并产生稳定的固态前驱体蒸汽。

主权项：1.一种前驱体源瓶的导热结构，包括：带有腔体（7）的壳体（1），其特征在于，还包括：设置于所述腔体（7）内的导热流道隔板（8）；导热流道隔板（8）在所述腔体（7）内呈折弯设置，并将所述腔体（7）分隔成若干个导热空间；其中，所述导热空间用于放置固态前驱体源，并使得所述固态前驱体源在受热形成固态前驱体源蒸汽后，向上流动；所述导热流道隔板（8）包括：若干个首尾依次相接的凸起段（81）和内凹段（82），以及用于连接所述凸起段（81）和内凹段（82）的平整段（83）；并且，彼此相邻的凸起段（81）和内凹段（82）所形成的回弯路径的长度从连接所述腔体（7）的内壁的一端朝向背离所述腔体（7）的内壁的一端逐渐增大；所述导热流道隔板（8）上还开有通孔区；其中，所述通孔区内的通孔（80）呈网格状分布或阵列式分布；所述导热流道隔板（8）上开设有多排通孔区，且各排通孔区的布置路径呈螺旋型布置，且其位于最上排的通孔区邻近出气口的下方设置，而位于最下排的通孔区邻近进气口的下方设置；所述导热流道隔板（8）的宽度由连接所述腔体（7）的内壁的一端朝向背离所述腔体（7）的内壁的一端逐渐减小；所述导热流道隔板（8）至少为两个，且平行间隔设置；并且，其中一导热流道隔板（8）的凸起段（81）与另一导热流道隔板（8）的内凹段（82）相对应；还包括：用于密封所述腔体的盖体（2），穿过所述盖体（2）并伸入所述腔体内的载流气管（9）、与所述盖体（2）相连通并且并伸入所述腔体内的出气管（12）、用于连通所述载流气管（9）和出气管（12）的连通管（13）、设置于载流气管（9）上的第一阀门（3）、设置于所述出气管（12）上的第二阀门（4），以及设置于所述连通管（13）上且与外部的吹扫气体源连通的第三阀门（5）；其中，所述壳体（1）的端部设有密封凸环（11），所述盖体（2）上开设有用于被所述密封凸环（11）套设的密封槽。

全文数据：

权利要求：

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