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申请/专利权人：迪睿合株式会社
申请日：2021-01-29
公开（公告）日：2024-06-25
公开（公告）号：CN113252304B
主分类号：G01M11/02
分类号：G01M11/02;G01N21/47;G01N21/59;C23C14/24;C23C14/34;C23C14/54
优先权：["20200212 JP 2020-021413"]
专利状态码：有效-授权
法律状态：2024.06.25#授权;2023.01.31#实质审查的生效;2021.08.13#公开
摘要：本发明的目的在于提供能够高精度地测定运送膜片的任意部位的光学特性的测定装置及成膜装置。该测定装置具备：测定部，对膜片照射光，将由前述膜片透射或反射的光聚光；以及移动机构，使前述测定部能够沿与前述膜片的运送方向交叉的第一方向移动，前述测定部具有对前述膜片照射光的光投射部、将来自前述膜片的光聚光的积分球、以及接受由前述积分球聚光的光的光接受部。
主权项：1.一种测定装置，具备：测定部，其对膜片照射光，测定由所述膜片透射或反射的光；移动机构，其使所述测定部能够沿与所述膜片的运送方向交叉的第一方向移动；以及金属制的辊，其从与所述膜片的光照射面相反的一侧支撑所述膜片，所述测定部具有对所述膜片照射光的光投射部、将来自所述膜片的光聚光的积分球以及接受由所述积分球聚光的光的光接受部，所述测定部具有将所述积分球的开口面的周围包围的遮蔽部件，该遮蔽部件具有支撑板和遮蔽板，所述支撑板沿着该积分球的外表面扩展，所述遮蔽板将所述积分球的开口面的周围包围并从该积分球的外表面立起且延伸到该积分球和被所述金属制的辊支撑的所述膜片之间。
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