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申请/专利权人：环球晶圆股份有限公司
申请日：2022-03-02
公开（公告）日：2024-06-25
公开（公告）号：CN115216832B
主分类号：C30B15/00
分类号：C30B15/00;C30B29/06
优先权：["20210416 TW 110113712"]
专利状态码：有效-授权
法律状态：2024.06.25#授权;2022.11.08#实质审查的生效;2022.10.21#公开
摘要：一种长晶炉，所述长晶炉的炉腔内具有位于坩埚上方的入气通道，上排气件具有相连通的流道及出气口，流道具有开放侧围绕入气通道，导流件与上排气件连接且设置于流道的开放侧，导流件上具有第一入气孔及至少两个第二入气孔，第一入气孔设置于远离出气口的一侧，一纵向参考面通过第一入气孔及出气口，导流件能以纵向参考面而区分为第一段及第二段，至少两个第二入气孔分别设置于第一段及第二段上，且第一入气孔的开口面积大于至少两个第二入气孔的开口面积；通过抽气装置将炉腔中的气体经导流件抽至上排气件的流道后排出炉腔。
主权项：1.一种长晶炉，连接一抽气装置，所述抽气装置包含一排气管，所述长晶炉包含：一炉体，具有一炉腔；一坩埚，设置于所述炉腔中，所述炉腔内具有一入气通道位于所述坩埚上方；一上排气件，设置于所述炉腔中，所述上排气件具有相连通的一流道及一出气口，所述流道及所述出气口位于所述坩埚的上方，所述流道具有一开放侧围绕所述入气通道，所述排气管与所述出气口连通；以及一导流件，与所述上排气件连接且设置于所述流道的所述开放侧，所述导流件上具有一第一入气孔及至少两个第二入气孔，所述第一入气孔设置于远离所述出气口的一侧，定义一纵向参考面穿过所述第一入气孔及所述出气口，所述导流件能以所述纵向参考面而区分为一第一段及一第二段，所述至少两个第二入气孔分别设置于所述第一段及所述第二段，所述第一入气孔的开口面积大于所述至少两个第二入气孔的开口面积，所述导流件为环状；通过所述抽气装置将所述炉腔中的气体分别经所述导流件的所述第一入气孔及所述至少两个第二入气孔抽至所述上排气件的所述流道后，再经由所述上排气件的所述出气口及所述排气管抽出所述炉腔。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 环球晶圆股份有限公司 长晶炉
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