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申请/专利权人：日本碍子株式会社
申请日：2020-03-03
公开（公告）日：2024-06-25
公开（公告）号：CN113632588B
主分类号：H05B3/02
分类号：H05B3/02;H05B3/74;H01L21/02;H01L21/683
优先权：["20190318 JP 2019-050231"]
专利状态码：有效-授权
法律状态：2024.06.25#授权;2021.11.26#实质审查的生效;2021.11.09#公开
摘要：陶瓷加热器10具备：陶瓷制的板20，其在上表面设有晶片载置面20a且在内部埋设有电阻发热体24；陶瓷制的筒状轴40，其上端与板20的下表面接合；以及供电构件54a、54b，其沿上下方向贯通筒状轴40的周壁部而与电阻发热体24电连接。供电构件54a、54b埋设于筒状轴40的周壁部，与筒状轴40的陶瓷材料密合。
主权项：1.一种陶瓷加热器，具备：陶瓷制的板，其在上表面设有晶片载置面并在内部埋设有电阻发热体；陶瓷制的筒状轴，其上端与所述板的下表面接合；以及供电构件，其沿上下方向贯通所述筒状轴的周壁部而与所述电阻发热体电连接，所述供电构件埋设于所述筒状轴的周壁部，与所述筒状轴的陶瓷材料密合，所述筒状轴在上端具有朝外的凸缘，所述供电构件沿着所述凸缘的朝外的一边穿过所述朝外的凸缘与所述电阻发热体电连接。
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