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申请/专利权人：江南大学
申请日：2023-06-28
公开（公告）日：2024-06-25
公开（公告）号：CN116590693B
主分类号：C23C16/455
分类号：C23C16/455;C23C16/44
优先权：
专利状态码：有效-授权
法律状态：2024.06.25#授权;2023.09.01#实质审查的生效;2023.08.15#公开
摘要：本发明公开了一种静电场和超声场作用下的粉体表面原子层沉积方法及装置，该装置包括圆柱形外壳和方形反应容器；所述方形反应容器安装于圆柱形外壳内，所述圆柱形外壳为外圆内方的结构，其圆柱外表面包裹一圈加热片；所述方形反应容器包括立方体框架、金属导电板、超声波振动片、排气孔、进气孔、进料孔和底座。本发明将静电场与超声场结合，利用超声波使团聚的粉体颗粒解聚，粉体颗粒在静电场交变的作用下反复运动，使粉体颗粒与反应气体充分接触反应，从而形成均匀的、致密的、保形性好的包覆层。
主权项：1.一种静电场和超声场作用下的粉体表面原子层沉积装置，其特征在于，所述装置包括圆柱形外壳1和方形反应容器3；所述圆柱形外壳1包括截面为方形的内部空腔，所述圆柱形外壳1的外表面覆盖有加热片2，所述方形反应容器3安装于所述圆柱形外壳1的内部空腔且紧密配合，所述方形反应容器3的棱长均小于所述圆柱形外壳1的母线长度；所述方形反应容器3包括立方体框架4、金属导电板5、超声波振动片6、排气孔7、进气孔8、进料孔9和底座11；所述方形反应容器3的前、后、左、右、上、下六个侧面各设置有方形的金属导电板5，六个所述金属导电板5通过立方体框架4和底座11上的横槽15进行安装，形成中空的立方体结构；每个所述金属导电板5外侧安装有超声波振动片6；所述底座11设置于方形反应容器3的下侧面且与立方体框架4连接；所述立方体框架4上侧面的金属导电板5设置有一个或多个排气孔7、进气孔8和进料孔9，所述排气孔7与外部真空发生器连接，所述进料孔9与外部用于输入粉体的气力输送管道相连。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 江南大学 静电场和超声场作用下的粉体表面原子层沉积装置及方法
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