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申请/专利权人：通威太阳能(安徽)有限公司
申请日：2023-10-12
公开（公告）日：2024-06-25
公开（公告）号：CN221226179U
主分类号：H01L21/673
分类号：H01L21/673;H01L21/68;H01L31/18;C23C16/458
优先权：
专利状态码：有效-授权
法律状态：2024.06.25#授权
摘要：本实用新型提供一种硅片载板，包括上载板与承载上载板的下载板；所述上载板可分离地设置在所述下载板上，所述上载板上设有上定位件，所述下载板上设有与上定位件配合的下定位件；所述上载板上设有硅片承载部，所述上载板的周侧设有机械手抓取部。机械手可将上载板从下载板上分离，将所有硅片传送到传送带上，避免碎片或部分硅片被遗漏，能减少硅片表面受到损伤。
主权项：1.一种硅片载板，其特征在于，包括上载板与承载上载板的下载板；所述上载板可分离地设置在所述下载板上，所述上载板上设有上定位件，所述下载板上设有与上定位件配合的下定位件；所述上载板上设有硅片承载部，所述上载板的周侧设有机械手抓取部。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 通威太阳能(安徽)有限公司 硅片载板
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