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申请/专利权人：苏州华兴源创科技股份有限公司
申请日：2023-11-17
公开（公告）日：2024-06-25
公开（公告）号：CN221225134U
主分类号：G02B7/28
分类号：G02B7/28;G01N21/01;G01N21/88;G02B27/28
优先权：
专利状态码：有效-授权
法律状态：2024.06.25#授权
摘要：本实用新型实施例公开一种自动对焦装置及缺陷检测系统。在一具体实施方式中，该装置包括：激光源、偏振分光棱镜、四分之一波片、图像传感器、控制器和第一位移机构；该实施方式中第二线偏振光由于与偏振分光棱镜透射的第一线偏振光的偏振方向垂直，因此在经过偏振分光棱镜时仅可反射，而不会返回激光光源影响其状态，且经四分之一波片输出的第一圆偏振光与经待测物反射的第二圆偏振光的旋向相反，因此这两束光不会发生干涉，避免了由于干涉影响图像传感器的测量结果，进而增加了自动对焦装置的对焦效果；并且本实用新型中第二半透半反镜既用于自动对焦又用于缺陷检测；在新增第一半透半反镜置后即可实现对待测物缺陷检测；因此结构更加紧凑。
主权项：1.一种自动对焦装置，其特征在于，包括：激光源、偏振分光棱镜、四分之一波片、图像传感器、控制器和第一位移机构；所述激光源，用于出射激光；所述偏振分光棱镜，用于将来自所述激光源的所述激光中的第一线偏振光传输至所述四分之一波片；所述四分之一波片，用于将来自所述偏振分光棱镜的所述第一线偏振光转换为第一圆偏振光并输出至所述物镜；所述物镜，用于将第一圆偏振光聚焦于放置在工作台的待测物上，并将经所述待测物反射的与第一圆偏振光旋向相反的第二圆偏振光输出至所述四分之一波片；所述四分之一波片，还用于将所述第二圆偏振光转换为第二线偏振光并输出至所述偏振分光棱镜；所述偏振分光棱镜，还用于将来自所述四分之一波片的所述第二线偏振光传输至所述图像传感器；所述控制器，用于根据所述图像传感器接收所述第二线偏振光所形成的第一光斑的成像状态，控制所述第一位移机构带动所述物镜移动，实现对焦。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 苏州华兴源创科技股份有限公司 一种自动对焦装置及缺陷检测系统
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