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申请/专利权人：沈阳辉晶科技有限公司
摘要：本实用新型公开了一种用于芯片生产用的涂层装置，包括底板、放置板和涂层机，所述涂层机的底部与底板的顶部固定连接，所述底板顶部的左侧固定连接有电动伸缩杆，所述电动伸缩杆的输出端固定连接有活动板，所述活动板的右侧与放置板的左侧固定连接。本实用新型通过设置烘干箱，在涂层结束后，首先关闭电磁铁，使密封板向上移动，接着可开启电动伸缩杆来带动刚刚喷涂过后的芯片移动到烘干箱的内部进行烘干，解决了使用的涂层机在对芯片进行喷涂后，芯片表面的涂层无法受到及时的烘干，导致芯片的涂层效率降低，并且在芯片在受到喷涂后若不及时烘干容易造成芯片受潮在后续工序上出现瑕疵的问题，达到了辅助快速烘干的效果。
主权项：1.一种用于芯片生产用的涂层装置，包括底板1、放置板2和涂层机3，其特征在于：所述涂层机3的底部与底板1的顶部固定连接，所述底板1顶部的左侧固定连接有电动伸缩杆4，所述电动伸缩杆4的输出端固定连接有活动板5，所述活动板5的右侧与放置板2的左侧固定连接，所述底板1顶部的右侧固定连接有烘干箱6，所述烘干箱6的顶部固定连接有恒温控制组件7，所述放置板2底部的两侧均固定连接有稳定组件8，所述烘干箱6左侧的底部连通有连通罩9，所述连通罩9的顶部固定连接有电磁铁10，所述电磁铁10的顶部磁性吸附有密封板11，所述密封板11顶部的两侧均固定连接有限位组件12，所述密封板11顶部的两侧均固定连接有拉簧13，所述拉簧13远离密封板11的一端固定连接有固定架14，所述固定架14内侧的底部与连通罩9两侧的顶部固定连接。
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百度查询： 沈阳辉晶科技有限公司 一种用于芯片生产用的涂层装置
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