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一种芯片真空炉盖板 

申请/专利权人:北京仝志伟业科技有限公司

申请日:2023-11-02

公开(公告)日:2024-06-25

公开(公告)号:CN221223376U

主分类号:F27D1/18

分类号:F27D1/18;F27D21/02

优先权:

专利状态码:有效-授权

法律状态:2024.06.25#授权

摘要:本实用新型涉及芯片真空炉技术领域,提供一种芯片真空炉盖板,包括上腔体、观察窗、旋钮、转轴、遮挡板、第一限位块和第二限位块;所述上腔体中部设置有所述观察窗,所述观察窗紧贴设置有所述旋钮,所述旋钮下方设置有所述转轴,所述遮挡板固定在所述转轴上,所述第一限位块和所述第二限位块设置在所述观察窗下方的两侧,防止关闭的过程中关闭不完全并且密封性好。

主权项:1.一种芯片真空炉盖板,其特征在于,包括上腔体、观察窗、旋钮、转轴、遮挡板、第一限位块和第二限位块;所述上腔体中部设置有所述观察窗,所述观察窗紧贴设置有所述旋钮,所述旋钮下方设置有所述转轴,所述遮挡板固定在所述转轴上,所述第一限位块和所述第二限位块设置在所述观察窗下方的两侧。

全文数据:

权利要求:

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