龙图腾网&IPTOP
- 微信扫码登录
- 账号密码登录
- 短信登录/注册
申请/专利权人：江苏鑫华半导体科技股份有限公司
申请日：2024-04-29
公开（公告）日：2024-06-28
公开（公告）号：CN118255358A
主分类号：C01B33/107
分类号：C01B33/107;B01D3/14;B01D3/40;B01D3/32;B01D3/42;B01D15/10
优先权：
专利状态码：在审-公开
法律状态：2024.06.28#公开
摘要：本发明涉及三氯氢硅提纯技术领域，尤其涉及一种三氯氢硅提纯方法及系统，包括如下操作步骤：S01：将粗三氯氢硅引入脱轻塔内去除轻组分；S02：经S01处理后的粗三氯氢硅自脱轻塔塔釜采出，并进入萃取精馏塔的下部，与萃取精馏塔上部引入的萃取剂萃取；利用不同组分的沸点差异，分离出塔顶的纯三氯氢硅，以及塔釜的含有甲基二氯氢硅的萃取剂；S03：将萃取精馏塔顶部采出的纯三氯氢硅送入除重精馏塔内提纯，提纯后塔顶输出高纯三氯氢硅备用，塔釜四氯化硅作为萃取剂引入步骤S02中；S04：将萃取精馏塔塔釜采出的含有甲基二氯氢硅的萃取剂送入脱溶剂塔回收并提纯，提纯后甲基二氯氢硅自塔顶脱出，塔釜采出的四氯化硅作为萃取剂引入萃取精馏塔上部。可以有效提高三氯氢硅的提纯效果。
主权项：1.一种三氯氢硅提纯方法，其特征在于：包括如下操作步骤：S01：将粗三氯氢硅引入脱轻塔内去除轻组分；S02：经S01处理后的粗三氯氢硅自所述脱轻塔塔釜采出，并进入萃取精馏塔的下部，与所述萃取精馏塔上部引入的萃取剂萃取；并利用不同组分的沸点差异，分离出塔顶的纯三氯氢硅，以及塔釜的含有甲基二氯氢硅的萃取剂；S03：将萃取精馏塔顶部采出的纯三氯氢硅送入除重精馏塔内进一步提纯，提纯后塔顶输出高纯三氯氢硅备用，塔釜物料作为萃取剂引入步骤S02中；S04：将萃取精馏塔塔釜采出的含有甲基二氯氢硅的萃取剂送入脱溶剂塔回收并提纯，提纯后甲基二氯氢硅自塔顶脱出，塔釜采出的物料作为萃取剂引入所述萃取精馏塔上部。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 江苏鑫华半导体科技股份有限公司 一种三氯氢硅提纯方法及系统
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
主营中国专利交易买卖与专利转让许可,高校科技成果推广与科技成果转化,知识产权运营管理与平台开发,科技人才专家库与科技猎头等科技服务
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号