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具有堆叠电容器的铁电存储器及其制造方法 

申请/专利权人:无锡舜铭存储科技有限公司

申请日:2021-11-15

公开(公告)日:2024-06-28

公开(公告)号:CN118266080A

主分类号:H01L27/105

分类号:H01L27/105;H10B53/30

优先权:

专利状态码:在审-公开

法律状态:2024.06.28#公开

摘要:一种铁电存储单元包括晶体管对、第一铁电电容器、第一板线及第二铁电电容器。该晶体管对包括第一源极区、第二源极区、第一栅极结构、第二栅极结构、第一漏极区和第二漏极区。该第一铁电电容器形成在该第一漏极区上并电连接到该第一漏极区。该第一板线形成在该第一铁电电容器上并电连接到该第一铁电电容器。该第二铁电电容器形成在该第一板线上并电连接到该第一板线。该第二铁电电容器还电连接到该第二漏极区。

主权项:1.一种铁电存储单元,其包括:晶体管对,其包括第一源极区、第二源极区、第一栅极结构、第二栅极结构、第一漏极区和第二漏极区;第一铁电电容器,其形成在该第一漏极区上并电连接到该第一漏极区;第一板线,其形成在该第一铁电电容器上并电连接到该第一铁电电容器;以及第二铁电电容器,其形成在该第一板在线并电连接到该第一板线上,其中第二铁电电容器电连接到该第二漏极区。

全文数据:

权利要求:

百度查询: 无锡舜铭存储科技有限公司 具有堆叠电容器的铁电存储器及其制造方法

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