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申请/专利权人：华中科技大学
申请日：2022-08-25
公开（公告）日：2024-06-28
公开（公告）号：CN115326276B
主分类号：G01L21/12
分类号：G01L21/12;B81B7/02;B81C1/00;G01L27/00
优先权：
专利状态码：有效-授权
法律状态：2024.06.28#授权;2022.11.29#实质审查的生效;2022.11.11#公开
摘要：本发明公开了皮拉尼真空计的温度补偿、环境真空度的计算方法和设备，属于皮拉尼真空计领域。包括：在[10‑5Pa,105Pa]区间内确定目标皮拉尼真空计的压强工作区间；测量参考温度T0、各离散压强下目标皮拉尼真空计的电阻值，测量参考压强P0、各离散温度下目标皮拉尼真空计的电阻值，所述离散压强为采样压强工作区间得到；对P0下皮拉尼真空计的电阻值随温度变化的函数进行插值拟合，得到电阻率温度系数α，构建比例关系kT＝1+α·T‑T0；对于温度T和压强P反复选择，使其覆盖工作全区间，预测选中T和P下的皮拉尼真空计的电阻值：RT,P＝RT,P0+kT·[RT0,P‑RT0,P0]。本发明通过计算不同温度下、相同压强区间的电阻值之差，以其电阻值差值的比例呈现，将大量的参数约去，简化标定过程，节省大量人力物力。
主权项：1.一种皮拉尼真空计的温度补偿方法，其特征在于，该方法包括：S1.在[10-5Pa,105Pa]区间内确定目标皮拉尼真空计的压强工作区间；S2.测量参考温度T0、各离散压强下目标皮拉尼真空计的电阻值，测量参考压强P0、各离散温度下目标皮拉尼真空计的电阻值，所述离散压强为采用预设步长采样压强工作区间得到，所述预设步长根据补偿分辨率要求设置；S3.对参考压强P0下皮拉尼真空计的电阻值随温度变化的函数进行插值拟合，得到电阻率温度系数α，并构建比例关系kT＝1+α·T-T0；S4.对于温度T和压强P反复选择，使其覆盖目标皮拉尼真空计的工作温度和压强的全区间，预测选中温度T和压强P下的皮拉尼真空计的电阻值，完成对皮拉尼真空计随压强和温度变化的标定：RT,P＝RT,P0+kT·[RT0,P-RT0,P0]其中，RT,P0、RT0,P、RT0,P0均为对应环境下测量到的皮拉尼真空计的电阻值。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 华中科技大学 皮拉尼真空计的温度补偿、环境真空度的计算方法和设备
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