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申请/专利权人：中国科学院工程热物理研究所
申请日：2021-01-20
公开（公告）日：2024-06-28
公开（公告）号：CN112909155B
主分类号：H10N10/17
分类号：H10N10/17;H10N10/01;H10N10/82
优先权：
专利状态码：有效-授权
法律状态：2024.06.28#授权;2021.06.22#实质审查的生效;2021.06.04#公开
摘要：本发明公开了一种直接测量微纳材料热电优值的探测器及制备工艺,采用光刻‑套刻‑刻蚀结合工艺制备双H型悬空微纳电极作为样品测量探头，消除电极与衬底间的导热热损影响。将样品转移或者旋涂到电极上之后，采用FIB或者导电导热胶与电极固定连接，消除接触电阻与接触热阻的影响。之后便可将样品与电极放置与高真空恒温舱内，连接外部测量电路进行测量，该电极可一次性精确测量同一个样品的ZT、电导率、热导率及塞贝克系数以及热扩散率等热电参数。
主权项：1.一种直接测量微纳材料热电优值的探测器的制备方法，其特征在于，所述探测器包括：硅衬底、氧化绝缘层、左侧电极、中间电极、右侧电极；氧化绝缘层形成在硅衬底的上层，左侧电极、中间电极、右侧电极并排间隔布置在氧化绝缘层上层，样品悬空放置在左侧电极、中间电极、右侧电极上；左侧电极和中间电极并联的一端与第一电源的一极连接，另一端左侧电极经第一开关、中间电极经第二开关并联后与第一电阻箱串联至第一电源的另一极；右侧电极与第二电阻箱串联后连在第二电源的两极；左侧电极、中间电极、右侧电极并排间隔布置，样品悬空放置在左侧电极、中间电极、右侧电极上；还包括：第一电压表、第二电压表、第三电压表、第四电压表、第五电压表；第一电压表串联在左侧电极和中间电极并联电路的左侧电极的支路；第二电压表并联在左侧电极和中间电极并联电路的两侧；第三电压表并联在第一电阻箱的两侧；第四电压表并联在右侧电极的两侧；第五电压表并联在第二电阻箱的两侧；包括以下步骤：（1）硅衬底（1）通过热氧化获得一层氧化绝缘层（2）；（2）通过光刻工艺制备左侧电极（3）、中间电极（4）、右侧电极（5）；（3）通过原位套刻在左侧电极（3）、右侧电极（5）的其中一根电极上制备绝缘层；（4）再将电极间以及电极下方的氧化绝缘层（2）刻蚀掉，确保三根电极悬空；（5）根据被测材料尺寸，调整三根电极宽度及间隔。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 中国科学院工程热物理研究所 一种直接测量微纳材料热电优值的探测器及制备工艺
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