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申请/专利权人：清华大学
申请日：2021-12-17
公开（公告）日：2024-06-28
公开（公告）号：CN114235696B
主分类号：G01N21/01
分类号：G01N21/01;G01N21/27
优先权：
专利状态码：有效-授权
法律状态：2024.06.28#授权;2022.04.12#实质审查的生效;2022.03.25#公开
摘要：本发明涉及材料光学性质测量技术领域，具体涉及一种材料微区光学性质测量装置，该装置包括第一光源、反射光学通道、透射光学通道、信号测量通道和信号处理系统；第一光源，用于为反射光学通道和透射光学通道提供入射光；反射光学通道，用于传输材料微区的反射光信号；透射光学通道，用于传输材料微区的透射光信号；信号测量通道，用于获取材料微区的反射信号和透射信号的光谱和成像信息；信号处理系统，基于反射信号和透射信号的光谱和成像信息，对材料微区的原位成像‑原位光谱进行分析，完成材料微区光学性质测量。本发明能够准确获取材料微区的光学信息，在材料微区测试分析领域具有广阔的应用领域和发展前景。
主权项：1.一种材料微区光学性质测量装置，其特征在于，该装置包括第一光源、反射光学通道、透射光学通道、信号测量通道和信号处理系统；所述第一光源，用于为所述反射光学通道和透射光学通道提供入射光；所述反射光学通道，用于传输材料微区的反射光信号；所述透射光学通道，用于传输材料微区的透射光信号；所述信号测量通道，用于获取材料微区的反射信号和透射信号的光谱和成像信息；所述信号处理系统，基于反射信号和透射信号的光谱和成像信息，对材料微区的原位成像-原位光谱进行分析，完成材料微区光学性质测量；其中，所述信号测量通道包括第一透镜、光阑、第二分光模块、第二透镜、光谱仪、第三透镜和相机；经材料微区反射或透射信号依次通过所述第一透镜和光阑发射到第二分光模块，经所述第二分光模块透射的光经第二透镜聚焦到所述光谱仪获取原位光谱信号；经所述第二分光模块反射的光通过所述第三透镜发射到所述相机获取原位成像信号；还包括激光耦合模块、第二光源和第三分光模块；所述激光耦合模块用于将所述第二光源发出的光导入照射材料微区；所述第二光源和第三分光模块设置在所述相机前，所述第二光源用于提供参考光束和测量光束，经所述第三分光模块反射的光束作为参考光束，经所述第三分光模块透射的光束经所述激光耦合模块发射到材料微区，参考光束和返回的测量光束发生干涉用以探测经过样品微区的相位信息。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 清华大学 材料微区光学性质测量装置
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