申请/专利权人：西南技术物理研究所

申请日：2021-12-28

公开（公告）日：2024-06-28

公开（公告）号：CN114518081B

主分类号：G01B11/27

分类号：G01B11/27

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.06.28#授权;2022.06.07#实质审查的生效;2022.05.20#公开

摘要：本发明属于光电探测器芯片贴装工艺技术领域，具体涉及一种单元类器件同心度辅助贴装装置，包括：对位平台和视觉显微镜；所述对位平台用于管座的装夹和位置调节，视觉显微镜用于器件图案和参考模板显示；对位平台包括：管座夹具、X‑Y‑R微动台和固定底板，三者之间连接；本发明基于对位平台和同心圆参考模板进行对位贴装，相比传统手动贴装方法，对位精度和一致性更高，贴装后无需再次进行同心度测试。本发明采用显示器进行图像显示，相比肉眼在显微镜视场下观察更加便捷，同时有利于缓解作业疲劳。本发明的载盘可沿圆周装夹多只管座，通过X‑Y‑R微动台调节可实现不同管座的位置切换，载盘和避空底座采用套合式装配，有利于快速更换，提升周转效率。

主权项：1.一种单元类器件同心度辅助贴装装置，其特征在于，所述辅助贴装装置包括：对位平台和视觉显微镜；其中，所述对位平台用于管座的装夹和位置调节，所述视觉显微镜用于单元类器件图案和同心圆参考模板显示；所述对位平台包括：管座夹具1、X-Y-R微动台2和固定底板3，三者之间连接；所述管座夹具1用于管座的安装；所述X-Y-R微动台2用于管座的位置调节；所述固定底板3用于对位平台固定，通过螺钉与X-Y-R微动台2连接，通过螺栓螺母结构与视觉显微镜的底座12连接；所述管座夹具1包括：载盘13、压板14、锁紧机构16和避空底座15；所述载盘13其上设有多个沿圆周均布的台阶孔30；所述台阶孔30上的台阶面24作为管座的承重面；台阶孔30边缘一处设有矩形槽23用于管座安装方位指示和圆周限位；台阶孔30边缘另一处设有梯形槽22用于为管座的取放预留操作空间；所述载盘13上，对于多个台阶孔30，设有多个压板14用于管座边缘的压合；所述载盘13上，对于多个台阶孔30，设有多个锁紧机构16用于管座的夹紧；所述载盘13下方设有所述避空底座15用于管座上管脚的避空，与载盘13进行套合装配；所述锁紧机构16包括压块18、锁紧螺丝19和弹簧20；所述压块18通过锁紧螺丝19和套设在锁紧螺丝19上的弹簧20来与载盘13连接；所述避空底座15通过顶紧螺杆17进行侧向顶紧，便于与载盘13的快速拆装；所述视觉显微镜包括：工业相机4、变焦镜头5、LED光源6、镜头托架7、调焦手轮8、立柱9、显示器10、连杆11和底座12；所述工业相机4用于图像的采集和处理，与变焦镜头5的目镜端部耦合连接；所述变焦镜头5用于图像放大倍数调节，通过镜头托架7与立柱9进行安装和固定；所述调焦手轮8与镜头托架7进行机械连接，通过调焦手轮8转动进行变焦镜头5的焦距调节；所述LED光源6用于图像亮度调节，固定在变焦镜头5的物镜端部；所述底座12与立柱9进行连接，用于承载对位平台及视觉显微镜主体结构；所述显示器10与工业相机4进行电气连接，通过连杆11固定到立柱9上，用于同心圆参考模板的绘制和图像显示；利用所述辅助贴装装置工作过程中，首先依次将管座安装到载盘13上对应的台阶孔30中，盖上压板14使压板14内圈上的凸台27与管座压合，手动上提锁紧机构16上的压块18并旋转90°实现管座的夹紧；然后通过调节变焦镜头5工作距离、放大倍数和焦距，结合X-Y-R微动台2调节，使管座整体清晰地显示到显示器10上；然后采用绘图软件或测量软件在显示器10上绘制出同心圆参考模板，同心圆参考模板外圆28直径等于管座外缘轮廓25直径，内圆29直径等于管芯主结轮廓26直径；然后通过调节X-Y-R微动台2使管座外缘轮廓25与模板外圆28重合，保持对位平台不动，将管芯贴装到管座上，手动调整管芯位置使主结轮廓26与模板内圆29重合，完成单只单元类器件的对位贴装；然后调节X-Y-R微动台2圆周位置，将下一只管座切换至变焦镜头5正下方，按上述方式完成整盘管座的贴装；松开顶紧螺杆17，取下载盘13，换上另一个事先已装好管座的载盘13，按照上述方法继续进行贴装。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 西南技术物理研究所 一种单元类器件同心度辅助贴装装置

免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。

阅读全文 双屏查看 官方信息 专利公告 收藏专利 下载PDF 下载WORD