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申请/专利权人：湖南旗滨医药材料科技有限公司
申请日：2023-05-10
公开（公告）日：2024-06-28
公开（公告）号：CN116426864B
主分类号：C23C8/20
分类号：C23C8/20;C23C14/16;C23C14/35
优先权：
专利状态码：有效-授权
法律状态：2024.06.28#授权;2023.08.01#实质审查的生效;2023.07.14#公开
摘要：本申请涉及一种表面处理工艺，具体为玻璃旋转管大轴驱动丝杠渗碳磁控溅射复合处理工艺。本申请为了进一步提高丝杠在服役过程中的使用寿命，提高其耐磨性和疲劳强度。主要通过在丝杠表面通过磁控溅射工艺制备高熵合金碳化物膜层，而为了提高膜基结合性能，在磁控溅射工艺前对丝杠进行渗碳处理。
主权项：1.一种生产玻璃用旋转管大轴驱动丝杠渗碳磁控溅射复合处理工艺，其特征在于，包括如下步骤：首先对丝杠进行渗碳处理，具体操作如下：将丝杠放置于渗碳炉内，炉温逐渐升高至750-810℃，保温30min，使炉内温度均匀；随后向渗碳炉内通入渗碳剂开始渗碳，控制碳势CP为0.6-0.7C%，保持1-1.5h；之后逐渐降低碳势CP至0.5-0.6C%，保持1-1.5h，然后随炉降温；然后对渗碳后的丝杠进行磁控溅射镀膜处理，采用粉末冶金技术按等摩尔比制备的WZrNbTaV合金靶，将丝杠固定在旋转载物台上，WZrNbTaV合金靶固定在腔室侧壁上；首先对腔室抽真空，然后通入氩气，将气压升至15-20Pa时，打开阴极电源对基片进行轰击清洗；沉积过程中丝杠预热至200-250℃，WZrNbTaV合金靶材功率设置为200-300W、负偏压200-250V、Ar:C2H2=2.5-3：1，沉积时间为1.5-2h，镀膜结束后，缓慢降低源极和阴极电压，直至将电压调整为零，将电源关闭，通入氩气后，关掉氩气开关，等试样温度降下来后，关掉循环水，取出试样。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 湖南旗滨医药材料科技有限公司 玻璃旋转管大轴驱动丝杠渗碳磁控溅射复合处理工艺
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