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用于与焊盘的欧姆接触的氧化铟锡(ITO)层的片上集成 

申请/专利权人:ams有限公司

申请日:2020-04-04

公开(公告)日:2024-06-28

公开(公告)号:CN113661578B

主分类号:H01L31/0216

分类号:H01L31/0216;H01L31/0224;H10K10/80;H10K10/82

优先权:["20190409 US 62/831,289"]

专利状态码:有效-授权

法律状态:2024.06.28#授权;2021.12.03#实质审查的生效;2021.11.16#公开

摘要:一种设备包括光学装置22和导电焊盘32。导电材料的多层堆叠42,44,46设置在该焊盘32上。ITO层48至少部分设置在该光学装置22上并且与该多层堆叠42,44,46欧姆接触。

主权项:1.一种光电设备,包括:光学装置;第一导电焊盘;导电材料的第一多层堆叠,其在该第一导电焊盘上,该第一多层堆叠包括第一ITO层作为顶层;以及第二ITO层,其至少部分设置在该光学装置上并且在该第一ITO层上;其中该光学装置是光电检测器并且其中该第二ITO层覆盖该光电检测器;其中,所述光电设备还包括:第二导电焊盘;不同导电材料的第二多层堆叠,其在该第二导电焊盘上,该第二多层堆叠包括顶层,该顶层包括第一ITO层;以及电极层,其设置在该光学装置的与第二ITO层相对的一侧上并且连接至所述第二多层堆叠的所述第一ITO层。

全文数据:

权利要求:

百度查询: ams有限公司 用于与焊盘的欧姆接触的氧化铟锡(ITO)层的片上集成

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