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申请/专利权人：湖南九山半导体科技有限公司
申请日：2023-11-22
公开（公告）日：2024-06-28
公开（公告）号：CN221235655U
主分类号：C23C16/455
分类号：C23C16/455
优先权：
专利状态码：有效-授权
法律状态：2024.06.28#授权
摘要：本实用新型公开了一种气化室装料装置，包括气化室、手套箱和惰性气体瓶，气化室上置有连通手套箱的气化室入料口，气化室入料口安装有气化室门，手套箱上安装有手套箱入料口，手套箱入料口安装有手套箱门，惰性气体瓶与手套箱连接，手套箱上设置有对外出气口，对外出气口上设置对外阀门。本实用新型通过惰性气体瓶向手套箱中通入惰性气体，从而保持手套箱惰性气体氛围。因此，经过手套箱向气化室的装料操作过程中不会产生酸雾，从根本上避免环境污染和对设备的腐蚀；通过该装置的装料操作过程无原料损耗，节约成本；同时，操作过程更加简便。
主权项：1.一种气化室装料装置，其特征在于，包括气化室1、手套箱2和惰性气体瓶4，所述气化室1上置有连通所述手套箱2的气化室入料口11，所述气化室入料口11安装有气化室门5，所述手套箱2上安装有手套箱入料口12，所述手套箱入料口12安装有手套箱门6，所述惰性气体瓶4与所述手套箱2连接，所述手套箱2上设置有对外出气口7，所述对外出气口7上设置对外阀门13。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 湖南九山半导体科技有限公司 一种气化室装料装置
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