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申请/专利权人：意法半导体股份有限公司
申请日：2023-06-16
公开（公告）日：2024-06-28
公开（公告）号：CN221239140U
主分类号：G02B26/08
分类号：G02B26/08;G03B21/00;G03B21/14
优先权：["20220617 IT 102022000012884","20230612 US 18/208,464"]
专利状态码：有效-授权
法律状态：2024.06.28#授权
摘要：本公开涉及包括微机电镜面设备的电子设备。一种微机电器件具有在由第一水平轴线和第二水平轴线限定的水平面中延伸的第一可倾斜镜面结构，并且包括限定界定腔体的框架的固定结构、承载反射区域的可倾斜元件，该可倾斜元件弹性地悬置在腔体上方并且具有第一中间对称轴线和第二中间对称轴线，通过位于第二水平轴线的相对侧的第一耦合结构和第二耦合结构弹性地耦合到框架。第一可倾斜镜面结构具有驱动结构，该驱动结构耦合到可倾斜元件以引起围绕第一水平轴线的旋转。第一可倾斜镜面结构相对于第二水平轴线是非对称的，并且沿着第一水平轴线在第二水平轴线的第一侧具有第一延伸，并且在第二水平轴线的与第一侧相对的第二侧具有大于第一延伸的第二延伸。
主权项：1.一种包括微机电镜面设备的电子设备，其特征在于，所述微机电镜面设备包括设置在第一半导体材料管芯中的第一可倾斜镜面结构，所述第一可倾斜镜面结构在由第一水平轴线和第二水平轴线限定的水平面中具有主延伸，其中所述第一可倾斜镜面结构包括：固定结构，所述固定结构限定框架，所述框架界定腔体；可倾斜元件，所述可倾斜元件承载反射区域，弹性地悬置在所述腔体上方，并且具有分别平行于所述第一水平轴线和所述第二水平轴线的第一中间对称轴线和第二中间对称轴线，所述可倾斜元件通过位于所述第二水平轴线的相对侧的第一耦合结构和第二耦合结构被弹性地耦合到所述框架；以及驱动结构，所述驱动结构被耦合到所述可倾斜元件，并且被配置为使所述可倾斜元件以谐振运动围绕所述第一水平轴线旋转；其中所述第一可倾斜镜面结构相对于所述第二水平轴线是非对称的，并且沿着所述第一水平轴线具有：第一延伸尺寸，所述第一延伸尺寸在所述第二水平轴线的第一侧；和第二延伸尺寸，所述第二延伸尺寸大于所述第一延伸尺寸，所述第二延伸尺寸在所述第二水平轴线的第二侧，并且与所述第一侧相对。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 意法半导体股份有限公司 包括微机电镜面设备的电子设备
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