申请/专利权人：成都顿威新型金属材料有限公司

申请日：2024-04-24

公开（公告）日：2024-06-25

公开（公告）号：CN118064843B

主分类号：C23C14/24

分类号：C23C14/24;C23C14/50;C23C14/54

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.06.25#授权;2024.06.11#实质审查的生效;2024.05.24#公开

摘要：本发明公开了一种双镜面异材蒸镀装置，涉及真空蒸镀设备领域，包括蒸镀装置壳体，蒸镀装置壳体的内侧底部安置有两个用于盛放蒸镀材料的坩埚，两个坩埚之间设置有凹弧顶托块，凹弧顶托块与蒸镀装置壳体为固定连接，蒸镀装置壳体的上部呈圆弧顶状，蒸镀装置壳体的内部设置有分隔组件，本发明通过分隔组件将蒸镀装置壳体的内部分隔为两个独立的蒸镀腔室，再配合悬挂单元和驱动单元的作用，在两个独立蒸镀腔室中的基板进行一面蒸镀后，可以直接将悬挂单元内的基板在两个独立蒸镀腔室之间进行位置更换，即能对基板的另一面进行蒸镀，由于两个独立蒸镀腔室中坩埚内的镀料不同，就能够实现在同一次蒸镀工序中，对基板的双镜面进行不同异材的蒸镀处理。

主权项：1.一种双镜面异材蒸镀装置，其特征在于，包括：蒸镀装置壳体（1），所述蒸镀装置壳体（1）的内侧底部安置有两个用于盛放蒸镀材料的坩埚（5），两个所述坩埚（5）之间设置有凹弧顶托块（4），且所述凹弧顶托块（4）与所述蒸镀装置壳体（1）为固定连接，所述蒸镀装置壳体（1）的上部呈圆弧顶状，且所述蒸镀装置壳体（1）的内部设置有分隔组件，所述分隔组件用于将两个所述坩埚（5）的蒸发材料分隔；还包括：悬挂单元，用于将两组基板分别悬挂在两个所述坩埚（5）的上方，所述悬挂单元设置在所述分隔组件上；驱动单元，用于驱动所述分隔组件带着所述悬挂单元进行位置调整，所述驱动单元设置于所述蒸镀装置壳体（1）和所述分隔组件之间；所述分隔组件包括第一分隔板（2）和第二分隔板（3），且所述第一分隔板（2）和所述第二分隔板（3）互为中垂线相交分布，所述第一分隔板（2）和所述第二分隔板（3）为固定连接，且两者组成十字结构，所述十字结构的前后端面均固定安装有延伸筒柱（27），且所述延伸筒柱（27）转动贯穿于所述蒸镀装置壳体（1），所述十字结构的前、后、上、下、左、右端面包覆有硅胶包裹层（7），所述延伸筒柱（27）与所述蒸镀装置壳体（1）的交点为所述蒸镀装置壳体（1）圆弧顶的圆心，且所述凹弧顶托块（4）的上端弧面与所述蒸镀装置壳体（1）的圆弧顶共圆心。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 成都顿威新型金属材料有限公司 一种双镜面异材蒸镀装置

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