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一种便于拆装的真空门阀 

申请/专利权人:神通半导体科技(南通)有限公司

申请日:2023-11-23

公开(公告)日:2024-06-28

公开(公告)号:CN221237196U

主分类号:F16K1/226

分类号:F16K1/226;F16K1/36;F16K31/44

优先权:

专利状态码:有效-授权

法律状态:2024.06.28#授权

摘要:本实用新型涉及半导体设备领域,公开了一种便于拆装的真空门阀,包括外壳,所述外壳的前后两侧均开设有通孔,所述外壳的顶部四角均开设有螺纹孔,所述外壳的内部活动连接有固定架,所述固定架的上下两端均固定连接有滑动杆,所述外壳的顶部设置有盖板,所述盖板的四角均穿设有紧固件,所述紧固件的下端分别对应螺纹连接在螺纹孔的内部,所述滑动杆的前后两端均活动连接有封堵板。本实用新型中,通过封堵快与第二通风口,封堵板与通孔配合,双重配合,从而提高门阀的密封性,将紧固件取下,从而将盖板取下,随后通过固定架和滑动杆可以将封堵板从外壳中取出,简单方便,结构简单。

主权项:1.一种便于拆装的真空门阀,包括外壳(1),其特征在于:所述外壳(1)的前后两侧均开设有通孔(2),所述外壳(1)的顶部四角均开设有螺纹孔(3),所述外壳(1)的内部活动连接有固定架(4),所述固定架(4)的上下两端均固定连接有滑动杆(5),所述外壳(1)的顶部设置有盖板(6),所述盖板(6)的四角均穿设有紧固件(7),所述紧固件(7)的下端分别对应螺纹连接在螺纹孔(3)的内部,所述滑动杆(5)的前后两端均活动连接有封堵板(8),所述封堵板(8)的相背一端外侧均开设有第一通风口(9),所述封堵板(8)的内部相对一侧均固定连接有封堵快(10),所述封堵板(8)的内部活动连接有活动板(11),所述活动板(11)的左右两端均开设有第二通风口(12),所述封堵板(8)的内部对应所述活动板(11)的外侧固定连接有封边(13),所述外壳(1)的下方安装有驱动组件。

全文数据:

权利要求:

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