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一种8-12um波段HD膜红外锗窗口片 

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申请/专利权人:云南驰宏国际锗业有限公司

摘要:本发明涉及一种8‑12um波段HD膜红外锗窗口片,属于红外光学技术领域。该窗口片包括锗基底、正面HD膜与反面AR膜,正面HD膜膜系由内向外依次包括Ge膜层、ZnS膜层、Ge膜层、ZnS膜层、YbF3膜层和红外加硬膜膜层,反面AR膜膜系由内向外依次包括Ge膜层、ZnS膜层、Ge膜层、ZnS膜层、YbF3膜层和第三层ZnS膜层。本发明根据锗镜片红外光学薄膜膜强度和光谱透过性要求选用特殊材料合理搭配膜层结构精细控制各膜层厚度设计优化锗镜片正面HD膜和反面高效增透膜,并利用设定特定工艺参数的镀膜机进行蒸镀制备的HD膜锗镜片具有高透过率、耐重摩擦和环境适应能力极强的特点。

主权项:1.一种8-12um波段HD膜红外锗窗口片,其特征在于:以单晶锗为基底,基底正面镀HD膜,基底反面镀AR膜;正面HD膜膜系结构为:基底0.281H0.475M0.4641H0.644M0.578L0.126P空气;反面AR膜膜系结构为:基底0.281H0.475M0.4641H0.644M0.578L0.126M空气;式中,H表示一个λ04光学厚度的Ge膜层;M表示一个λ04光学厚度的ZnS膜层;L表示一个λ04光学厚度的YbF3膜层;P表示一个λ04光学厚度的红外加硬膜膜层,λ0为中心波长,H、M、L和P前的数字均为膜层的厚度比例系数;红外加硬膜膜层所用材料为Al2XyZO3材料,其是Al2O3经过元素改性后得到;Al2XyZO3材料的折射率为2。

全文数据:

权利要求:

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