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申请/专利权人：中船(邯郸)派瑞特种气体股份有限公司
申请日：2024-03-11
公开（公告）日：2024-07-09
公开（公告）号：CN118304827A
主分类号：B01J8/00
分类号：B01J8/00;C01G41/04;C01B21/22;B01D53/00;B01D53/02;B01D3/32
优先权：
专利状态码：在审-实质审查的生效
法律状态：2024.07.26#实质审查的生效;2024.07.09#公开
摘要：本申请属于废气处理的领域，具体涉及一种利用NF3废气制备高纯WF6和高纯N2O的装置和方法。该装置包括反应炉、初分塔、WF6精制塔、CO2转化塔和N2O精制塔；该方法包括S1、将NF3原料废气在反应炉中与钨粉反应，得到WF6粗品气；S2、将WF6粗品气在初分塔将含N2O轻组分和含WF6的重组分分离；S3、将WF6重组分在WF6精制塔进行精制处理，得到高纯WF6；S4、将S2中得到的N2O轻组分在CO2转化塔中进行脱除CO2处理，得到N2O的粗品气；S5、将S4中得到的N2O的粗品气在在N2O精制塔进行精制处理，得到高纯N2O。本申请提供了纯度≥99.9999％的高纯WF6产品和高纯N2O产品的联产方式，工艺风险低，生产效率高。
主权项：1.一种利用NF3废气制备高纯WF6和高纯N2O的装置，其特征在于：包括反应炉1、初分塔2、WF6精制塔3、CO2转化塔4和N2O精制塔5，所述反应炉1一端为原料废气进口、反应器1的出气口与初分塔2的物料进口通过带有阀门的管道连通，初分塔2塔顶出气口与CO2转化塔4顶部的物料进口通过带有阀门的管道连通，CO2转化塔4底部的物料出口与N2O精制塔5的进气口通过带有阀门的管道连通，初分塔2底部的塔釜采出口与WF6精制塔3进气口通过带有阀门的管道连通。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 中船(邯郸)派瑞特种气体股份有限公司 一种利用NF3废气制备高纯WF6和高纯N2O的装置和方法
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