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申请/专利权人：中国科学院上海硅酸盐研究所
摘要：本发明涉及一种氮化硅材料晶格氧含量的识别和测试方法。所述氮化硅材料晶格氧含量的识别和测试方法，包括：1在氮氧分析仪中通入氦气和氩气分别作为氧氮测试的工作载气和动力气；2将氮化硅材料粉末置于石墨坩埚中，利用氮氧分析仪在阶梯式的功率加热反应阶段下，根据设定的分析参数，采用红外吸收光谱及热导法分别测定氮化硅材料粉末释放出的氧和氮的含量；所述氮化硅粉末是由烧结助剂和Si3N4粉混合、烧结和研磨后得到，所述烧结助剂为稀土氧化物和碱土金属氧化物。
主权项：1.一种氮化硅材料晶格氧含量的识别和测试方法，其特征在于，包括：1在氮氧分析仪中通入氦气和氩气分别作为氧氮测试的工作载气和动力气；2将氮化硅材料粉末置于石墨坩埚中，利用氮氧分析仪在阶梯式的功率加热反应阶段下，根据设定的分析参数，采用红外吸收光谱及热导法分别测定氮化硅材料粉末释放出的氧和氮的含量；所述氮化硅粉末是由烧结助剂和Si3N4粉混合、烧结和研磨后得到，所述烧结助剂为稀土氧化物和碱土金属氧化物。
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百度查询： 中国科学院上海硅酸盐研究所 一种氮化硅材料晶格氧含量的识别和测试方法
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