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申请/专利权人：中国科学院理化技术研究所
摘要：本实用新型涉及氮化镓领域，提供一种氮化镓制造装置。氮化镓制造装置包括：腔室结构，腔室结构用于容纳载有镓基液态金属的基底；氮源供应装置，氮源供应装置与腔室结构连接，并用于向腔室结构内通入氮源气体；电磁波装置，电磁波装置与腔室结构连接，电磁波装置用于向腔室结构内发射电磁波，以使镓基液态金属响应于电磁波而放电。本实用新型中提供的氮化镓制造装置，能够在低工作温度和低工作气压的条件下，利用镓基液态金属在电磁波中的放电现象，促使氮源气体电离产生氮气等离子体。通过氮气等离子体与镓基液态金属中的镓反应生成氮化镓，使得氮化镓制造的温度条件和压力条件更易于实现，从而能够降低氮化镓的制造难度和制造成本。
主权项：1.一种氮化镓制造装置，其特征在于，包括：腔室结构3，所述腔室结构3用于容纳载有镓基液态金属的基底6；氮源供应装置1，所述氮源供应装置1与所述腔室结构3连接，并用于向所述腔室结构3内通入氮源气体；电磁波装置4，所述电磁波装置4与所述腔室结构3连接，所述电磁波装置4用于向所述腔室结构3内发射电磁波，以使所述镓基液态金属响应于所述电磁波而放电。
全文数据：
权利要求：
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