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申请/专利权人：中国科学院微电子研究所
摘要：本发明提供一种氮化镓功率器件动态特性测试方法，方法包括：氮化镓器件在直流应力模式、连续硬开关应力模式和关断恢复模式中的一个模式的工作过程中或者两个以上模式的联动工作过程中，对氮化镓器件的电流和电压进行采集；其中，直流应力模式包括对氮化镓器件施加直流的第一电压，并依据第一预定时间对氮化镓器件栅极施加单个脉冲；连续硬开关应力模式包括对氮化镓器件施加直流的第一电压，并对氮化镓器件栅极施加连续的多个脉冲；关断恢复模式包括将氮化镓器件关断，依据第二预定时间对氮化镓器件施加直流的第二电压并对氮化镓器件施加单个脉冲。本发明能够通过多种工作模式的测试，确定连续硬开关应力和关断应力对氮化镓器件的动态特性的贡献度。
主权项：1.一种氮化镓功率器件动态特性测试方法，其特征在于，所述方法包括：氮化镓功率器件在直流应力模式、连续硬开关应力模式和关断恢复模式中的一个模式的工作过程中或者两个以上模式的联动工作过程中，对氮化镓功率器件的电流和电压进行采集，以获取所述氮化镓功率器件的动态特性；其中，所述直流应力模式包括对所述氮化镓功率器件施加直流的第一电压，并依据第一预定时间对所述氮化镓功率器件栅极施加单个脉冲；所述连续硬开关应力模式包括对所述氮化镓功率器件施加直流的第一电压，并对所述氮化镓功率器件栅极施加连续的多个脉冲；所述关断恢复模式包括将所述氮化镓功率器件关断，依据第二预定时间对所述氮化镓功率器件施加直流的第二电压并对所述氮化镓功率器件施加单个脉冲。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 中国科学院微电子研究所 氮化镓功率器件动态特性测试方法
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