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申请/专利权人：浜松光子学株式会社
摘要：本发明的波前测量装置1具备：相位调制部2，其具有入射有入射光L0的空间光调制器7；图案生成部3，其生成输入空间光调制器7的相位图案11；拍摄部4，其具有将由空间光调制器7调制的入射光L0的一部分作为测量光L1进行拍摄的拍摄区域14；以及解析部5，其基于由拍摄部4的拍摄结果来解析入射光L0的波前，图案生成部3，以由空间光调制器7调制的测量光L1的聚光光斑16随时间偏移至拍摄区域14的不同位置的方式，生成测量用虚拟图案12偏移至彼此不同的位置的多个相位图案11。
主权项：1.一种波前测量装置，其中，具备：相位调制部，其具有对入射光进行调制的空间光调制器；图案生成部，其生成输入所述空间光调制器的相位图案；拍摄部，其具有将由所述空间光调制器调制的所述入射光的至少一部分作为测量光进行拍摄的拍摄区域；以及解析部，其基于由所述拍摄部的拍摄结果来解析所述入射光的波前，所述图案生成部，以由所述空间光调制器调制的所述测量光的聚光光斑随时间偏移至所述拍摄区域的不同位置的方式，生成测量用虚拟图案偏移至彼此不同的位置的多个相位图案。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 浜松光子学株式会社 波前测量装置和波前测量方法
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