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申请/专利权人：朗姆研究公司
摘要：一种电镀装置，其包含位于室的底部的电极、水平设置在室顶部的具有穿孔的离子电阻性部件，而在中间设有膜。一或多个板从膜到所述部件竖直地且平行地延伸，并且线性延伸跨越室，在膜与所述部件之间形成了多个区域。将具有沿衬底的弦延伸并与所述部件的顶部表面接触的凸部的衬底设置在第一区域上方。在衬底与所述部件之间流动的电解液在凸部的第一侧经过穿孔下降进入第一区域，并且在凸部的第二侧经过穿孔从第一区域上升，迫使气泡从与第一区域关联的部件的一部分离开。
主权项：1.一种电镀装置，其包含：沿室的底部设置的电极；沿所述室的顶部设置的具有穿孔的离子电阻性部件；设置在所述电极和所述离子电阻性部件之间的膜；一或多个板，其在所述膜与所述离子电阻性部件之间形成多个区域；衬底座，其设置在所述离子电阻性部件上方；以及歧管，所述歧管形成在所述衬底座的底部和所述离子电阻性部件的顶表面之间，以在电镀期间使电解液横向流动，所述电解液的部分经由所述离子电阻性部件的所述穿孔从所述歧管下降进入所述多个区域以及从所述多个区域上升进入所述歧管。
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