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一种动态密封装置 

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申请/专利权人:河南芯钻新材料有限公司

摘要:本实用新型公开了一种动态密封装置,包括第一固定板,所述第一固定板的上部设置有上真空腔,所述上真空腔的底部突出于第一固定板,所述上真空腔的底部开口,所述第一固定板的下方设置有升降密封装置,所述升降密封装置的上部设置有与上真空腔底部抵接的密封板,所述密封板的中间位置设置有用于放置籽晶的放置台,所述密封板的下部设置有多个螺栓,所述螺栓的外侧绕设有与密封板下表面抵接的弹簧,依靠弹簧的弹力顶紧下真空腔体和上真空腔贴合可以起到腔体圆周的动态真空密封,不怕泄露,上下腔室分离可以便捷的清理腔室内卫生。

主权项:1.一种动态密封装置,其特征在于:包括第一固定板,所述第一固定板的上部设置有上真空腔,所述上真空腔的底部突出于第一固定板,所述上真空腔的底部开口,所述第一固定板的下方设置有升降密封装置,所述升降密封装置的上部设置有与上真空腔底部抵接的密封板,所述密封板的中间位置设置有用于放置籽晶的放置台,所述密封板的下部设置有多个螺栓,所述螺栓的外侧绕设有与密封板下表面抵接的弹簧。

全文数据:

权利要求:

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