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一种基于SOI材料制备的Sagnac环形反射器型可调谐滤波器 

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申请/专利权人:东南大学

摘要:本发明公开了一种基于SOI材料制备的Sagnac环形反射器型可调谐滤波器,包括SiO2包层,所述SiO2包层内部设有水平设置的波导层,波导层由Si材料制备,厚度为220nm;所述波导层包括第一Sagnac环形反射器、第二Sagnac环形反射器、第三Sagnac环形反射器以及四个级联直波导;第一Sagnac环形反射器的输入端的上端口InputA为可调谐滤波器的输入端,第三Sagnac环形反射器的输出端的上端口OutputA为可调谐滤波器的输出端。本发明通过对非对称马赫‑曾德尔干涉器和对称马赫‑曾德尔干涉器参数的调制,使得Sagnac环形反射器分光比发生改变,从而实现滤波器调谐和光谱重构;没有造成占用面积的扩大,但保证了其可调谐性和重构性,且能够实现超高的消光比和斜率。

主权项:1.一种基于SOI材料制备的Sagnac环形反射器型可调谐滤波器,包括SiO2包层13,其特征在于:所述SiO2包层13内部设有水平设置的波导层14,波导层14由Si材料制备,厚度为220nm;所述波导层14包括第一Sagnac环形反射器1、第二Sagnac环形反射器2、第三Sagnac环形反射器3以及四个级联直波导11;第一Sagnac环形反射器1的输入端的上端口InputA为可调谐滤波器的输入端,第三Sagnac环形反射器3的输出端的上端口OutputA为可调谐滤波器的输出端;第一Sagnac环形反射器1输出端端口OutputA与第二Sagnac环形反射器2输出端端口OutputB通过级联直波导11相连,输出端端口OutputB与第二Sagnac环形反射器2输出端端口OutputA通过级联直波导11相连;第二Sagnac环形反射器2输入端口InputA与第三Sagnac环形反射器3输入端口InputB通过级联直波导11相连,输入端口InputB与第三Sagnac环形反射器3输入端口InputA通过级联直波导11相连。

全文数据:

权利要求:

百度查询: 东南大学 一种基于SOI材料制备的Sagnac环形反射器型可调谐滤波器

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