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申请/专利权人：中国科学院西安光学精密机械研究所

摘要：本发明提供一种用于Sagnac型干涉仪组件的镀膜夹具，解决现有Sagnac型干涉仪组件存在制作周期长、成本高以及使用时存在调制度降低的问题。该镀膜夹具包括干涉仪固定组件、镀膜窗口组件和上保护罩；干涉仪固定组件中，夹具法兰盘的端面设置有溅射孔；楔块相对的设置在溅射孔内，且其外侧面上设置有第一限位孔；抵紧块设置在夹具法兰盘的上端面，且其外侧面上设置有第二限位孔；调节支座均固定设置在夹具法兰盘上端面，调节螺杆一端伸入第一限位孔和第二限位孔内，另一端穿过设置在调节支座上的螺纹孔，与调节支座螺纹连接；镀膜窗口组件包括四个窗口刃片，四个窗口刃片依次首尾排布设置在溅射孔内；上保护罩设置在夹具法兰盘的上端面。

主权项：1.一种用于Sagnac型干涉仪组件的镀膜夹具，其特征在于：包括由金属制作的干涉仪固定组件1、镀膜窗口组件4和上保护罩3；所述干涉仪固定组件1用于固定Sagnac型干涉仪组件2，包括夹具法兰盘11、楔块12、抵紧块15、调节支座13、调节螺杆14和柔性板16；所述夹具法兰盘11的端面设置有溅射孔112，用于溅射蒸发源；所述楔块12为两组，沿Y方向相对的设置在溅射孔112内，每组楔块12的倾斜角与半五角棱镜的张角一致，且其外侧面上设置有第一限位孔122；所述抵紧块15沿X方向设置在夹具法兰盘11的上端面，其外侧面上设置有第二限位孔151；所述调节支座13为三组，均固定设置在夹具法兰盘11上端面，其中两组沿Y方向设置，且位于楔块12的外侧，一组沿X方向设置，且位于抵紧块15的外侧；所述调节螺杆14为三组，其一端伸入第一限位孔122和第二限位孔151内，与抵紧块15、楔块12配合，另一端穿过设置在调节支座13上的螺纹孔，与调节支座13螺纹连接；所述柔性板16的底端设置在夹具法兰盘11上端面，顶端用于与干涉仪安装座21连接；所述镀膜窗口组件4用于控制Sagnac型干涉仪组件2镀膜区域的大小及位置，包括四个窗口刃片，分别为第一窗口刃片41、第二窗口刃片42、第三窗口刃片43和第四窗口刃片44；四个窗口刃片依次首尾排布设置在溅射孔112内，且刃口与夹具法兰盘11的下端面呈一定夹角，使得镀膜区域在夹角范围内无遮挡；所述上保护罩3设置在夹具法兰盘11的上端面，用于包裹Sagnac型干涉仪组件2，避免镀膜机内蒸发源溅射到干涉仪的其他表面。

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