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申请/专利权人：中山大学
摘要：本发明涉一种无源光波导上集成的分布式反馈激光器及其制备方法。激光器由下至上包括无源光波导结构、通过转印或键合的方式集成在所述无源光波导上的化合物半导体激光器外延结构以及金属电极，所述化合物半导体激光器外延结构包含有光栅层，且所述光栅层通过二次外延掩埋在所述化合物半导体激光器外延结构中。本发明通过二次外延技术，将光栅掩埋在化合物半导体激光器外延结构中，再转印或键合到无源光波导结构上，形成异质集成的DFB激光器，既可实现高折射率无源光波导如硅光波导上集成分布式反馈激光器，也可以实现低折射率无源光波导结构如氮化硅，薄膜铌酸锂等光波导上集成的分布式反馈激光器，有效的提高激光器的选模效率。
主权项：1.一种无源光波导上集成的分布式反馈激光器，其特征在于，由下至上包括无源光波导结构100、通过转印或键合的方式集成在所述无源光波导上的化合物半导体激光器外延结构200以及金属电极13，所述化合物半导体激光器外延结构200包含有光栅层7，且所述光栅层7通过二次外延掩埋在所述化合物半导体激光器外延结构200中。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 中山大学 一种无源光波导上集成的分布式反馈激光器及其制备方法
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