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一种全耗尽型绝缘体上硅器件的可靠性确定方法 

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申请/专利权人:中国科学院微电子研究所

摘要:本发明公开了一种全耗尽型绝缘体上硅器件的可靠性确定方法,考虑多种因素对电流的影响,建立PN结收集电流模型,扩散电流模型,双极放大电流模型,以所有电流相加获取全耗尽型绝缘体上硅器件的单粒子瞬态电流;综合考虑PN结收集电流、扩散电流、双极放大电流以及背栅调控效应对单粒子效应的影响,获取全耗尽型绝缘体上硅器件的单粒子瞬态电流,建立出单粒子瞬态电流模型的脉冲波形与模拟仿真模型能够进行高精度拟合,得到理想的模型拟合结果。

主权项:1.一种全耗尽型绝缘体上硅器件的可靠性确定方法,其特征在于,包括:高能粒子轰击全耗尽型绝缘体上硅器件的体区,电离出电子空穴对,被所述全耗尽型绝缘体上硅器件的电极收集;根据所述全耗尽型绝缘体上硅器件中寄生的PN结收集电流的变化趋势,得到PN结等效电路,提取所述PN结收集电流随时间变化的函数,建立PN结收集电流模型;根据所述全耗尽型绝缘体上硅器件的漏极收集电子形成电子扩散电流的变化趋势,提取所述电子扩散电流随时间变化的函数,建立电子扩散电流模型;根据所述全耗尽型绝缘体上硅器件的源极收集空穴形成空穴扩散电流的变化趋势,提取所述空穴扩散电流随时间变化的函数,建立空穴扩散电流模型;根据所述PN结收集电流的变化趋势和所述空穴扩散电流的变化趋势提取双极放大电流随阈值电压变化的函数,建立双极放大电流模型;根据所述PN结收集电流模型、电子扩散电流模型、双极放大电流模型得到单粒子瞬态电流的变化趋势,建立单粒子瞬态电流模型;将所述单粒子瞬态电流模型的脉冲波形与模拟仿真模型进行对比,得到所述全耗尽型绝缘体上硅器件的可靠性判断结果。

全文数据:

权利要求:

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