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申请/专利权人：信越化学工业株式会社
摘要：本发明涉及锍盐、抗蚀剂材料及图案形成方法。本发明的课题提供无论正型或负型皆为高感度，且LWR、CDU经改善的抗蚀剂材料，以及提供使用其的图案形成方法。该课题的解决手段是一种锍盐，以下式1表示，以及提供含有该锍盐的抗蚀剂材料。
主权项：1.一种锍盐，以下式1表示； 式中，p、q及r分别独立地为0～3的整数，s为1或2；R1及R2分别独立地为卤素原子、三氟甲基、三氟甲氧基、三氟甲基硫代基、硝基、氰基、-C＝O-R4、-O-C＝O-R5或-O-R5；R3为卤素原子、三氟甲基、三氟甲氧基、三氟甲基硫代基、硝基、氰基、-O-C＝O-R5或-O-R5；R4为碳数1～10的烃基、碳数1～10的烃基氧基或-O-R4A，且该烃基及烃基氧基也可被氟原子或羟基取代；R4A为酸不稳定基团；R5为碳数1～10的烃基；X1为单键、醚基、羰基、-NR-、硫醚基键或磺酰基；R为氢原子或碳数1～6的饱和烃基；Xq-是具有键结于芳香环的碳原子以外的碳原子的羟基以及在α位或β位具有氟原子或三氟甲基的羧酸阴离子。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 信越化学工业株式会社 锍盐、抗蚀剂材料及图案形成方法
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