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申请/专利权人：株式会社斯库林集团
摘要：本发明提供一种能够确实地掌握劣化加剧的虚设晶圆的热处理方法及热处理装置。对虚设晶圆利用卤素灯进行预备加热处理并利用闪光灯进行闪光加热处理，从而进行对基座等腔室内结构物进行调温的虚设运转。这时，在每次进行预备加热处理或闪光加热处理时，对向卤素灯的施加电量等进行累计，计算出累计所得的损耗值。损耗值是表示虚设晶圆的劣化程度的指标。在虚设晶圆的损耗值成为规定阈值以上的情况下发出警报。由此，使热处理装置的操作者能够认识到虚设晶圆的劣化达到限界值，从而能够确实地掌握劣化加剧的虚设晶圆。
主权项：1.一种热处理方法，其特征在于：其是管理虚设晶圆的热处理方法，且具备：计算步骤，对通过来自连续点亮灯的光照射加热虚设晶圆时所述虚设晶圆的温度乘以加热时间所得的值进行累计，计算出累计所得的损耗值；及警示步骤，当所述损耗值为规定阈值以上时发出警告。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 株式会社斯库林集团 热处理方法及热处理装置
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