龙图腾网&IPTOP
- 微信扫码登录
- 账号密码登录
- 短信登录/注册
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
申请/专利权人：应用材料公司
摘要：本公开内容的实施方式涉及对经受真空处理的基板的检查。在一个实施方式中，处理腔室包括：第一观察口、第二观察口、电磁辐射发射器及检测器，第一观察口使电磁辐射的发射器能够照射处理腔室中的基板，第二观察口使检测器能够检测从基板散射的电磁辐射。
主权项：1.一种用于处理基板的设备，包括：处理腔室；装载锁定装置，该装载锁定装置经由阀与该处理腔室连接，其中基板能够通过该阀从该处理腔室移动到该装载锁定装置中，并且该装载锁定装置具有负载锁定端口；基板支撑件，该基板支撑件在该装载锁定装置内；及机械臂，该机械臂是可操作的以经由该负载锁定端口进入该装载锁定装置的内部，以够到该基板支撑件上的该基板，其中该机械臂具有封闭式探头，该封闭式探头具有：电磁辐射发射器，该电磁辐射发射器是可操作的以照射该基板支撑件上的该基板；及检测器，该检测器是可操作的以检测从该基板散射的电磁辐射。
全文数据：
权利要求：
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
主营中国专利交易买卖与专利转让许可,高校科技成果推广与科技成果转化,知识产权运营管理与平台开发,科技人才专家库与科技猎头等科技服务
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号