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申请/专利权人：雷纳·克雷默
摘要：本发明涉及一种用于涂覆单个基板或基板组的内联系统，该系统具有多个腔室，这些腔室一个接一个地布置并且可通过泵排空，这些腔室依次包括进料室、等待室、至少一个处理室、另一个等待室和排料室，基板或基板组依次通过这些腔室，并且每个腔室可通过阀门关闭。根据本发明，进料室和排出室各自具有同时容纳多个，即n个基板或基板组的容量，以及等待室具有允许容纳n‑1个基板或基板组的容量，其中处理室的容纳容量在每种情况下被限制为一个基板或一个基板组。
主权项：1.一种用于涂覆单个基板或基板组的内联系统，该内联系统具有多个腔室，所述多个腔室一个接一个地布置并可通过泵排空，所述多个腔室依次包括进料室、等待室、至少一个处理室、另一个等待室和排出室，所述基板或基板组依次通过所述多个腔室，并且每个腔室可以通过阀门关闭，其特征在于，所述进料室和所述排出室各自具有用于同时容纳一个接一个布置或相邻布置的n个基板或基板组的容量，其中n是大于1的自然数，以及，布置在所述进料室和所述处理室之间的所述等待室和布置在所述排出室和所述处理室之间的所述等待室具有用于容纳n-1个基板或基板组的容量，但是，所述处理室的容量在每种情况下都被限制为容纳一个基板或一个基板组。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 雷纳·克雷默 用于涂覆单个基板或基板组的内联系统以及在内联涂覆系统中涂覆单个基板或基板组的方法
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