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申请/专利权人：株式会社斯库林集团
摘要：本发明提供一种狭缝喷嘴、基板处理装置及基板处理方法，其在使刮刀相对于附着有处理液的狭缝喷嘴的前端部抵接的同时相对移动时，可抑制所述前端部的处理液痕的产生或量。本发明满足接触角条件。即，满足处理液相对于前端部的表面中与刮刀抵接的喷嘴侧抵接区域的接触角θn大于处理液相对于刮刀的表面中与前端部抵接的刮刀侧抵接区域的接触角θs的条件。因此，随着刮刀的相对移动，位于刮刀与狭缝喷嘴的前端部之间的处理液的移动目的地主要为刮刀。在抵接轨迹上不残存处理液，或者即便残存，处理液的余量也比以往大幅减少。
主权项：1.一种狭缝喷嘴，具有延伸设置有用于喷出处理液的狭缝状的喷出口的前端部，在从所述喷出口喷出所述处理液之后利用在与所述前端部抵接的同时沿所述喷出口的延伸设置方向相对移动的刮刀，从所述前端部刮取所述处理液，所述狭缝喷嘴的特征在于，所述处理液相对于所述前端部的表面中与所述刮刀抵接的喷嘴侧抵接区域的接触角，大于所述处理液相对于所述刮刀的表面中与所述前端部抵接的刮刀侧抵接区域的接触角。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 株式会社斯库林集团 狭缝喷嘴、基板处理装置及基板处理方法
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