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振动发电元件 

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申请/专利权人:国立大学法人东京大学;株式会社鹭宫制作所

摘要:本发明提供一种振动发电元件,具备一对固定电极部和可动电极部,一对固定电极部具有多个固定梳齿,并且上述多个固定梳齿对置地配置,可动电极部配置在上述一对固定电极部之间,并且具有向各固定电极部的上述多个固定梳齿之间插入的一对多个可动梳齿,上述振动发电元件是将上述固定梳齿以及或者上述可动梳齿进行驻极体化的三端子构造的振动发电元件,其中,上述固定梳齿与上述可动梳齿之间的空隙区域的间隙尺寸比20μm小,上述空隙区域的梳齿高度方向的尺寸与上述空隙区域的间隙尺寸之比亦即纵横尺寸比为20以上。

主权项:1.一种振动发电元件,具备一对固定电极部和可动电极部,上述可动电极部配置在上述一对固定电极部之间,并且具有从可动电极部的两侧延伸的一对多个可动梳齿,其特征在于,上述一对固定电极部的每个固定电极部具有与上述可动电极部的上述两侧分别相对的多个固定梳齿,上述可动电极部的上述两侧的上述多个可动梳齿在轴向上与上述多个固定梳齿分别重叠,上述振动发电元件具有将上述固定梳齿以及或者上述可动梳齿进行驻极体化的三端子构造,上述固定电极部的固定梳齿与上述可动电极部的可动梳齿啮合,上述可动电极部是在上述一对固定电极部间沿插入方向振动的结构,上述固定电极部和上述可动电极部通过在与上述多个固定梳齿的排列方向相同的方向上延伸的梁连接,上述固定梳齿与上述可动梳齿之间的空隙区域的间隙尺寸比20μm小,上述固定梳齿与上述可动梳齿之间的上述空隙区域的梳齿高度方向的尺寸与上述固定梳齿与上述可动梳齿之间的上述空隙区域的上述间隙尺寸之比亦即纵横比为20以上,上述可动电极部一边维持上述多个可动梳齿与上述多个固定梳齿的重叠处于啮合状态的部分的上述间隙尺寸,一边进行上述振动,插入到上述一对固定电极部中一方的固定电极部的固定梳齿中的可动梳齿的上述间隙尺寸与插入到另一方的固定电极部的固定梳齿的可动梳齿中的上述间隙尺寸相等,在彼此对置的上述固定梳齿中,上述固定梳齿的垂直面从上述固定梳齿的顶部朝向底部在上述梳齿高度方向上为直线,上述空隙区域的上述梳齿高度方向的上述尺寸大于100μm。

全文数据:

权利要求:

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